PDM系列 ：中型泵特性

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汉钟 PDM 系列（原 iPM 升级版）是 半导体级干式螺杆真空泵，主打 中度严苛制程、通用均衡、节能紧凑，定位介于 PMF（轻载） 和 IPH（重载） 之间。
一、核心定位
- 类型：无油干式螺杆泵（单级螺杆+罗茨前级）
​- 等级：中度严苛制程级（升级版 iPM）
​- 场景：PVD、Ashing（灰化）、Oxide Etch、一般刻蚀、离子注入
​- 关键词：紧凑、低振动、低噪音、节能、长寿命、SEMI S21保持坚固的腔室压力

2高气体动力学减少粉尘沉积

3适用于多种介质工艺

4更短的气体路径减少沉淀和腐蚀风险

5先进密封延长泵寿命