1.设备基本信息记录 核对制程物污染申报表，按需委外清洁处理对设备状况进

行故障性质判断对设备工艺及性能要求进行核对并记录

2.进厂检测完成后，完整填写入厂检测单，将设备移入拆卸区，交由拆卸组做拆卸准备。

3.对设备整机及附属件进行详细检测并记录在入厂测试区域进行测试并记录相应参数

志德真空维修作业标准流程（SOP）

客户报修 → 设备下机 → 设备回厂 → 进厂检测 → 拆解拆卸→ 设备下机 → 设备回厂 → 进厂检测

→ 拆解拆卸→ 制程物清理 → 整机清洗 → 维修包准备→ 修复 → 精修 → 零部件更换 → 组装装配

→ 装配验证 → 完整测试 → 设备上机

志德真空标准维修流程成本构成分析

1.外壳及电气部件拆卸 2.机体拆卸

3.零部件分类存放

4.零部件测量分析

拆卸流程流程

制程物专业处理、全面去污干式喷砂、湿式喷砂、表面修复

超声波清洗、高温清洁烘干、全面清洁、防锈处理

1.精细测量关键零部件的磨损值，包括泵腔、 转子、主轴、齿轮、轴承座、端盖、隔板的测量数值。记录参数，分析并判断。

2.精细修复在可修复范围内的磨损部件.我司采用特氟龙高分子材料精密涂层以及金属精密涂层做精细修复。

3.精修工艺是维修品质的主要保障，我司在工艺中积累了丰富的经验并记录了详细的主流型号数据。

4.修复、打磨、涂层、精测工艺中，我司均采用原厂认证材料（3M、杜邦），选用顶级工具（德国伍尔特、世达）

1.所有零部件经精测修复后，清点并整理，待更换的零部件和耗材领料并归类存放，做组装前准备

2.所有治具准备到位，按原厂标准组装程序开始安装

3.行原厂操作标准.按原厂标准并结合关键零部件的修复精度调整间隙，安装需更换的所有零部件、耗材。

4.组装完成后全面自检，通过后准备接电测试。组装工艺是决定维修品质的主要原因，我司坚持执行原厂操作标准

1.连接水、气、电等基本保障做测 试准备，确保连接方式准确无误。

2.单机械体测试基本性能，基本性 能合格后接入所有电控部件做完整测试准备。

3.接入特制的完全测试平台，做完全测试准备。检查各仪器仪表工作状态，进行时长大于48小时的 不间断完整测试

4.测试人员完整记录测试前、中、 完成后的各项数据，总结测试结论，制作测试报告。交由维修经理后出具整机维修报告